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10、氣體供應

10 氣體供應10.1 一般規定10.1.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)葢鶕a(chǎn)的需求使用各種不同類(lèi)型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質(zhì)和當地的供氣狀況等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。10.1.3 潔凈廠(chǎng)房常用氣體、特種氣體的

11、化學(xué)品供應

11 化學(xué)品供應11.1 一般規定11.1.1 潔凈廠(chǎng)房?jì)然瘜W(xué)品的儲存、輸送方式，應根據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和化學(xué)品的品質(zhì)、數量、物理化學(xué)特性等確定。11.1.2 潔凈廠(chǎng)房?jì)仁褂玫母黝?lèi)化學(xué)品應按照各自的物理化學(xué)特性分類(lèi)和儲存，并應符合現行國家標準《常用危險化學(xué)品的分類(lèi)及標志》GB 13690的有關(guān)規定。11.1.3 在潔凈室

12、電氣設計

12 電氣設計12.1 配 電12.1.1 潔凈廠(chǎng)房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設備要求和現行國家標準《供配電系統設計規范》GB 50052的有關(guān)規定確定。12.1.2 潔凈廠(chǎng)房低壓配電電壓等級應符合生產(chǎn)工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線(xiàn)制、三相三線(xiàn)制、三相四線(xiàn)制。系統接地型式

13、防靜電與接地設計

13 防靜電與接地設計13.1 一般規定13.1.1 潔凈廠(chǎng)房應根據生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設計應滿(mǎn)足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。13.1.2 防靜電環(huán)境設計應按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設備)進(jìn)行分級。防靜電環(huán)境內靜電電位絕對值應小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全

14、噪音控制

14 噪聲控制14.1 一般規定14.1.1 潔凈廠(chǎng)房的噪聲控制，應滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)的要求，并應保持工作人員具有舒適、安全的環(huán)境。14.1.2 潔凈廠(chǎng)房的噪聲控制設計應符合現行國家標準《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設計規范》GBJ 87的有關(guān)規定。14.1.3 潔凈室(區)的噪聲控制設計的噪聲級(空態(tài))應符合本規范第3.2.5條的規定

15、微振控制

15 微振控制15.1 一般規定15.1.1 潔凈廠(chǎng)房的微振控制設施的設計應分階段進(jìn)行，應包括設計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測試、廠(chǎng)房建筑結構微振控制設計、動(dòng)力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2 設計有微振控制要求的潔凈廠(chǎng)房時(shí)，應符合下列規定：1 總平面布置時(shí)，應核實(shí)相鄰廠(chǎng)房、建筑物或

附錄A 各類(lèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄A 各類(lèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災危險性分類(lèi)舉例

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間/工序的火災危險性分類(lèi)舉例注：① 表中房間在設備密閉性良好，并設有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時(shí)，應按丙類(lèi)設防，否則仍應按甲類(lèi)設防。② 屏錐加工車(chē)間中低熔點(diǎn)玻璃配制和低熔點(diǎn)玻璃涂復間面積超過(guò)本層或防火分區總面積5%時(shí)，生產(chǎn)類(lèi)別應為乙類(lèi)設防。③ 光纜外皮采用發(fā)泡塑

附錄C 精密儀器、設備的容許振動(dòng)值舉例

附錄C 精密儀器、設備的容許振動(dòng)值舉例

附錄D 潔凈室(區)性能測試和認證

D.1 通 則D.1.1 潔凈室(區)應定期進(jìn)行性能測試。以認證潔凈室(區)始終符合本規范的要求。D.1.2 潔凈室(區)性能測試認證工作，應由專(zhuān)門(mén)檢測認證單位承擔，并應提交檢測報告。D.1.3 測試和認證工作之前，系統應達到穩定運行。測試儀表應在標定證書(shū)有效使用期內。D.1.4 潔凈室(區)的占用狀態(tài)應有空態(tài)、靜態(tài)